詳細新聞
» 您當前位置:首頁 > 新聞動態 > 正文 
萬級無塵室等級標準
更新時間:2013.08.06   來源:無塵室   瀏覽次數:
電子廠房無塵車間
潔凈室無塵走廊
電子廠房無塵車間
電子廠房無塵車間
無塵車間回風柱
無塵車間回風柱

依據美國聯邦政府頒布的標準[Federal Standard (FS) 209E, 1992],可將無塵室分為六級。

分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。

例如:10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75顆/立方英),1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35顆/立方英)而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。

為保持無塵室的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩,下表為無塵室清潔度的定義:

所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

由于奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

本文共分 1
Copyright 2007 © 無錫一凈凈化設備有限公司 版權所有. 技術支持:無錫一凈網絡部
全國免費服務熱線:13400000555 電話:+86-510-83575883,83570093 手機:13400000555 傳真:+86-510-83743372
本站詞條:air shower 美國紅楓 錳砂濾料 PVC快速門 凈化臺 無塵工作臺 凈化工作臺 超凈臺 潔凈工作臺 超凈工作臺 風淋通道 風淋設備 凈化工程 無塵車間 凈化車間 無塵室 潔凈工程 凈化廠房 風淋室 風淋門 風淋房
夜趣在线导航精品视频-国产精品热门Jizz-四虎影视国产精品久久-亚洲第一精品无码